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産品中心

名稱:三氯化硼

分(fēn)類:三氯化硼

賣家:常州大成工業氣體(tǐ)有限公司

地址:常州市金壇區(qū)龍湖(hú)路33号

咨詢服務(wù)熱線(xiàn):

15961136667

産品詳情

三氯化硼 BCl3)

 

項目名稱

純度指标(%

三氯化硼

≥99.999

≥99.9

雜質(zhì)含量(ppm)

氧氣(O2

≤1

-

氮氣(N2

≤4

-

二氧化碳(CO2

≤2

-

甲烷(CH4

≤0.5

-

一氧化碳(CO

≤0.5

-

四氯化矽(SiCl4)

-

≤300

氯氣(Cl2)

-

≤10

其他(tā)(Others)

-

≤500


包裝(zhuāng):采用(yòng)44L、47L鋼瓶充裝(zhuāng),也可(kě)根據客戶需要分(fēn)裝(zhuāng)到4-10L的氣瓶中。 

 

用(yòng)途:

1、高純三氯化硼主要用(yòng)于(矽)半導體(tǐ)器件制造工藝中的擴散摻雜(在高溫下,經過分(fēn)解生成硼雜質(zhì)向矽中擴散,形成P型半導體(tǐ))、離子注入(作(zuò)為(wèi)離子注入源,高能(néng)量作(zuò)用(yòng)下使硼原子離子化,産生硼離子束并注入矽形成P型淺結)、幹法蝕刻(用(yòng)于Al、MoSi2、TaSi2、TiSi2、Wsi等材料的蝕刻)等過程;

2、可(kě)作(zuò)為(wèi)許多(duō)有機反應中的優良催化劑及醫(yī)藥工業的中間體(tǐ)。

 

理(lǐ)化性質(zhì)

無色發煙液體(tǐ)或氣體(tǐ)(有毒、不燃),有強烈刺激性、酸性氣味,易潮解,在潮濕的空氣中可(kě)産生濃密白煙,在水中分(fēn)解為(wèi)鹽酸和硼酸,在醇中分(fēn)解為(wèi)鹽酸和硼酸酯, 如作(zuò)溶媒, 不能(néng)使鹽與強酸産生離子作(zuò)用(yòng)。

 

注意事項:

1、嚴加密閉,操作(zuò)場所應提供充分(fēn)的局部排風和通風,并配備應急處理(lǐ)設備。操作(zuò)人員須經過安(ān)全培訓,嚴格遵守操作(zuò)規程。建議操作(zuò)人員帶防毒面具,戴橡膠手套,并防止氣體(tǐ)洩漏到工作(zuò)場的空氣中,避免與水接觸。搬運時要輕拿(ná)輕放或用(yòng)合适的手推車(chē)來移動鋼瓶,一定不要拉,滾動,滑動或放倒鋼瓶,不要試圖抓住氣瓶的蓋來拎起它。氣瓶在使用(yòng)的全過程中為(wèi)固定狀态,用(yòng)一個獨立的控制閥安(ān)全地從氣瓶内釋放氣體(tǐ)。一旦鋼瓶接好,應仔細,緩慢的打開閥門。如果使用(yòng)者在操作(zuò)氣瓶閥時有困難,需停止使用(yòng),并與供應商聯系。 不可(kě)将工具(如:扳手,螺絲刀(dāo),等)插入鋼瓶蓋内。否則會損壞閥門并引起洩漏。 使用(yòng)可(kě)調節的扳手來打開過緊或生鏽的鋼瓶蓋。不要用(yòng)明火或其他(tā)臨近的熱源加熱鋼瓶的任何部分(fēn)。碳鋼、普通不鏽鋼、Monel蒙乃爾合金(Ni-Fe-Cu)及銅可(kě)以在沒有潮氣的情況下使用(yòng)。Ni-Mo-Cr及Ni-Ti-Cr合金(13.2-32%Ni合金)、鉑及金有很(hěn)好的抗腐蝕性,可(kě)以在有潮氣的情況下使用(yòng)。Kel-F或Teflon(聚四氟乙烯)、PVC(聚氯乙烯)可(kě)以作(zuò)為(wèi)墊圈材料。

2、儲存于陰涼與通風的安(ān)全庫房。遠(yuǎn)離火種、熱源,庫溫保持在35℃以下(高存儲溫度不可(kě)高于52℃)。鋼瓶應直立擺放,保持容器(閥門)密封完好并安(ān)裝(zhuāng)鋼瓶蓋。應與其它化學(xué)品分(fēn)開存放,儲區(qū)應備有洩漏應急處理(lǐ)設備。


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