常州大成工業氣體(tǐ)有限公司
Changzhou Dacheng Industrial Gas Co., Ltd
PRODUCTcenter
産品中心
分(fēn)類:三氯化硼
賣家:常州大成工業氣體(tǐ)有限公司
地址:常州市金壇區(qū)龍湖(hú)路33号
咨詢服務(wù)熱線(xiàn):
15961136667
三氯化硼 (BCl3)
項目名稱
純度指标(%)
三氯化硼
≥99.999
≥99.9
雜質(zhì)含量(ppm)
氧氣(O2)
≤1
-
氮氣(N2)
≤4
二氧化碳(CO2)
≤2
甲烷(CH4)
≤0.5
一氧化碳(CO)
四氯化矽(SiCl4)
≤300
氯氣(Cl2)
≤10
其他(tā)(Others)
≤500
包裝(zhuāng):采用(yòng)44L、47L鋼瓶充裝(zhuāng),也可(kě)根據客戶需要分(fēn)裝(zhuāng)到4-10L的氣瓶中。
用(yòng)途:
1、高純三氯化硼主要用(yòng)于(矽)半導體(tǐ)器件制造工藝中的擴散摻雜(在高溫下,經過分(fēn)解生成硼雜質(zhì)向矽中擴散,形成P型半導體(tǐ))、離子注入(作(zuò)為(wèi)離子注入源,高能(néng)量作(zuò)用(yòng)下使硼原子離子化,産生硼離子束并注入矽形成P型淺結)、幹法蝕刻(用(yòng)于Al、MoSi2、TaSi2、TiSi2、Wsi等材料的蝕刻)等過程;
2、可(kě)作(zuò)為(wèi)許多(duō)有機反應中的優良催化劑及醫(yī)藥工業的中間體(tǐ)。
理(lǐ)化性質(zhì):
無色發煙液體(tǐ)或氣體(tǐ)(有毒、不燃),有強烈刺激性、酸性氣味,易潮解,在潮濕的空氣中可(kě)産生濃密白煙,在水中分(fēn)解為(wèi)鹽酸和硼酸,在醇中分(fēn)解為(wèi)鹽酸和硼酸酯, 如作(zuò)溶媒, 不能(néng)使鹽與強酸産生離子作(zuò)用(yòng)。
注意事項:
1、嚴加密閉,操作(zuò)場所應提供充分(fēn)的局部排風和通風,并配備應急處理(lǐ)設備。操作(zuò)人員須經過安(ān)全培訓,嚴格遵守操作(zuò)規程。建議操作(zuò)人員帶防毒面具,戴橡膠手套,并防止氣體(tǐ)洩漏到工作(zuò)場的空氣中,避免與水接觸。搬運時要輕拿(ná)輕放或用(yòng)合适的手推車(chē)來移動鋼瓶,一定不要拉,滾動,滑動或放倒鋼瓶,不要試圖抓住氣瓶的蓋來拎起它。氣瓶在使用(yòng)的全過程中為(wèi)固定狀态,用(yòng)一個獨立的控制閥安(ān)全地從氣瓶内釋放氣體(tǐ)。一旦鋼瓶接好,應仔細,緩慢的打開閥門。如果使用(yòng)者在操作(zuò)氣瓶閥時有困難,需停止使用(yòng),并與供應商聯系。 不可(kě)将工具(如:扳手,螺絲刀(dāo),等)插入鋼瓶蓋内。否則會損壞閥門并引起洩漏。 使用(yòng)可(kě)調節的扳手來打開過緊或生鏽的鋼瓶蓋。不要用(yòng)明火或其他(tā)臨近的熱源加熱鋼瓶的任何部分(fēn)。碳鋼、普通不鏽鋼、Monel蒙乃爾合金(Ni-Fe-Cu)及銅可(kě)以在沒有潮氣的情況下使用(yòng)。Ni-Mo-Cr及Ni-Ti-Cr合金(13.2-32%Ni合金)、鉑及金有很(hěn)好的抗腐蝕性,可(kě)以在有潮氣的情況下使用(yòng)。Kel-F或Teflon(聚四氟乙烯)、PVC(聚氯乙烯)可(kě)以作(zuò)為(wèi)墊圈材料。
2、儲存于陰涼與通風的安(ān)全庫房。遠(yuǎn)離火種、熱源,庫溫保持在35℃以下(高存儲溫度不可(kě)高于52℃)。鋼瓶應直立擺放,保持容器(閥門)密封完好并安(ān)裝(zhuāng)鋼瓶蓋。應與其它化學(xué)品分(fēn)開存放,儲區(qū)應備有洩漏應急處理(lǐ)設備。