氨氣 （NH3)

包裝(zhuāng)：采用(yòng)40L、44L、47L鋼瓶充裝(zhuāng)，也可(kě)根據客戶需要，分(fēn)裝(zhuāng)到8—10L的氣瓶中。 

用(yòng)途：用(yòng)于晶圓清洗、在CVD過程中生成氮化矽或氮化镓等薄膜

理(lǐ)化性質(zhì): 通常為(wèi)無色有強烈刺激性氣味，常溫下加壓可(kě)液化，臨界溫度132.9℃，臨界壓力11.38MPa，常壓下冷卻到－33.35℃時液化。液氨揮發性很(hěn)強，氣化時吸熱很(hěn)大，在－77.75℃時凝固成無色結晶。氨極易溶于水，并放出熱量。氨的水溶液稱為(wèi)氨水，呈弱堿性，易揮發。自燃點630℃，在空氣中遇火能(néng)爆炸。

常溫、常壓下在空氣中的爆炸極限為(wèi)16％～28％（體(tǐ)積）。

注意事項：

1、工作(zuò)時應選用(yòng)耐腐蝕的工作(zuò)服、防堿手套、眼鏡、膠鞋、用(yòng)硫酸銅或硫酸鋅防毒口罩，防毒口罩應定期檢查，以防失效。

2、在使用(yòng)氨水作(zuò)業時，應在作(zuò)業者身旁放一盆清水，以防萬一；在氨水運輸過程中，應随身攜帶2~3隻盛滿3%硼酸液的水壺，以備急救沖洗；配制一定濃度氨水時，應戴上風鏡；使用(yòng)氨水時，作(zuò)業者應在上風處，防止氨氣刺激面部；操作(zuò)時要嚴禁用(yòng)手揉擦眼睛，操作(zuò)後洗淨雙手。

3、配備良好的通風排氣設施、合适的防爆、滅火裝(zhuāng)置。

4、工作(zuò)場所禁止飲食、吸煙、禁止明火、火花(huā)。

5、應急救援時，必須佩帶空氣呼吸器。

6、發生洩漏時，将洩漏鋼瓶的滲口朝上，防止液态氨溢出。

7、加強生産過程的密閉化和自動化，防止跑、冒、滴、漏。

8、使用(yòng)、運輸和貯存時應注意安(ān)全，防止容器破裂和冒氣。

9、現場安(ān)裝(zhuāng)氨氣監測儀及時報警發現。