三氟化氮 （NF3)

包裝(zhuāng)：采用(yòng)44L、47L鋼瓶充裝(zhuāng)，也可(kě)根據客戶需要分(fēn)裝(zhuāng)到8L的氣瓶中。 

用(yòng)途：NF3是微電(diàn)子工業中一種優良的等離子蝕刻氣體(tǐ)，對矽和氮化矽的蝕刻，采用(yòng)NF3和CF4＋O2的混合氣體(tǐ)有更高的蝕刻速率和選擇性，而且對表面無污染。

理(lǐ)化性質(zhì): 在常溫常壓下 , 三氟化氮為(wèi)無色、無臭、性質(zhì)穩定的液化氣體(tǐ)，高純三氟化氮幾乎沒有氣味，它是一種熱力學(xué)穩定的氧化劑，大約在 350 ℃左右可(kě)離解成為(wèi)二氟化氮和氟氣，故其反應性相似于氟。

注意事項：

1.在70℃以下NF3氣體(tǐ)對普通金屬是不腐蝕的，因此鋼、銅、鎳、鋁和不鏽鋼在70℃以下均可(kě)用(yòng)作(zuò)包裝(zhuāng)材料。用(yòng)鋼瓶和鋁合金瓶充裝(zhuāng)，對氣瓶每兩年要檢驗一次。按有毒高壓液化氣體(tǐ)規定運輸，國(guó)外規定可(kě)以用(yòng)汽車(chē)、火車(chē)運輸，不能(néng)用(yòng)飛機運輸。氣瓶充裝(zhuāng)系數不大于0.01。

2.儲存于陰涼、通風的有毒氣體(tǐ)專用(yòng)庫房。遠(yuǎn)離火種、熱源。庫溫不宜超過30℃。應與易（可(kě)）燃物(wù)、還原劑、食用(yòng)化學(xué)品分(fēn)開存放，切忌混儲。儲區(qū)應備有洩漏應急處理(lǐ)設備。