常州大成工業氣體(tǐ)有限公司
Changzhou Dacheng Industrial Gas Co., Ltd
PRODUCTcenter
産品中心
分(fēn)類:六氟化鎢
賣家:常州大成工業氣體(tǐ)有限公司
地址:常州市金壇區(qū)龍湖(hú)路33号
咨詢服務(wù)熱線(xiàn):
15961136667
六氟化鎢 (WF6)
項目名稱
純度指标(%)
六氟化鎢
≥99.999
雜質(zhì)含量(ppm)
二氧化碳(CO2)
≤0.5
氮氣(N2)
≤1
氧氣+氩氣(O2+Ar)
一氧化碳(CO)
四氟化碳(CF4)
三氟化氮(NF3)
四氟化矽 (SiF4)
氟化氫(HF)
≤5
金屬離子(Metals)
≤1.5
包裝(zhuāng):采用(yòng)40L、44L鋼瓶充裝(zhuāng),也可(kě)根據客戶需要,分(fēn)裝(zhuāng)到4-10L的氣瓶中。
用(yòng)途:在電(diàn)子工業中作(zuò)為(wèi)金屬鎢化學(xué)氣相沉積(CVD)工藝的原材料,特别是用(yòng)它制成的WSi2可(kě)用(yòng)作(zuò)大規模集成電(diàn)路(LSI)中的配線(xiàn)材料。通過混合金屬的CVD工藝制得鎢和铼的複合塗層,可(kě)用(yòng)于X-射線(xiàn)的發射電(diàn)極。此外,WF6在電(diàn)子行業中還主要用(yòng)作(zuò)半導體(tǐ)電(diàn)極和導電(diàn)漿糊等的原材料。
理(lǐ)化性質(zhì): 能(néng)與許多(duō)物(wù)質(zhì)發生化學(xué)反應,遇潮濕、空氣或水分(fēn)解,散發劇毒和有腐蝕性的氟化氫煙霧。腐蝕性很(hěn)強,能(néng)侵蝕幾乎所有的金屬,能(néng)迅速腐蝕濕的玻璃。
注意事項:
一、洩漏應急處理(lǐ):迅速撤離洩漏污染區(qū)人員至安(ān)全區(qū),禁止無關人員進入污染區(qū),應急處理(lǐ)人員戴正壓自給式呼吸器,穿廠商特别推薦的化學(xué)防護服(完全隔離)。在确保安(ān)全情況下堵漏。噴水霧減慢揮發(或擴散),但不要對洩漏物(wù)或洩漏點直接噴水。勿使水進入包裝(zhuāng)容器内,抽排(室内)或強力通風(室外)。漏氣容器不能(néng)再用(yòng),且要經過技(jì )術處理(lǐ)以清除可(kě)能(néng)剩下的氣體(tǐ)。
二、防護措施:
1、呼吸系統防護:可(kě)能(néng)接觸毒物(wù)時,必須佩戴防毒面具。
2、眼睛防護:戴安(ān)全防護眼鏡。
3、身體(tǐ)防護:穿膠布防毒服。
4、手防護:戴防化學(xué)品手套。
三、急救措施
1、皮膚接觸:脫去污染的衣着,用(yòng)流動清水沖洗。在灼傷處塗敷氧化鎂甘油軟膏或稀氨水。就醫(yī)。
2、眼睛接觸:立即翻開上下眼睑,立即用(yòng)大量流動清水徹底沖洗至少15分(fēn)鍾。就醫(yī)。
3、吸入:脫離現場至空氣新(xīn)鮮處。呼吸困難時給輸氧。呼吸停止時,立即進行人工呼吸。立即就醫(yī)。
4、食入:誤服者用(yòng)水漱口,飲牛奶或蛋清,立即就醫(yī)。
5、滅火方法:泡沫、二氧化碳、幹粉。